第4章电容式传感器电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种传感器。它具有结构简单，分辨率高，抗过载能力大，动态特性好的优点，且能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。电容式传感器可用于测量压力、位移、振动、液位。4.1 电容式传感器工作原理图4.1 平行板电容器平行板电容器是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的，如图4.1所示，当忽略边缘效应影响时，其电容量与绝缘介质的介电常数e、极板的有效面积S以及两极板间的距离d有关，即 （4.1）若被测量的变化使电容的d、S、e三个参量中的一个参数改变，则电容量就将产生变化。如果变化的参数与被测量之间存在一定的函数关系，那么被测量的变化就可以直接由电容量的变化反映出来。所以电容式传感器可以分成3种类型：改变极板面积的变面积式、改变极板距离的变间隙式和改变介电常数的变介电常数式。4.1.1 变面积式电容传感器图4.2 变面积型电容传感器原理图变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。根据动极板相
