xx区匀胶铬版行业实施方案(十四五).docx

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xx区匀胶铬版行业实施方案目录一、 规划路线3二、 发展原则3三、 规划目标3四、 核心任务4五、 产业背景分析5六、 措施保障5重点项目分析:xx项目7重点项目分析:xx有限责任公司xx项目12匀胶铬版是一种硬面光掩模材料,即光掩膜基版,它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版,再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。当前时期是我国以科学发展观为指导,实施新的国民经济和社会发展规划的重要时期,也是我国经济结束WTO过渡期,加快融入国际经济的关键时期。在这个时期,产业发展既要符合国家总体规划,满足全面建设小康社会的要求,也要适应全球化过程中更为严峻的国际竞争环境,不断提高竞争力,实现更快更好地发展。新的形势和任务,将对我国产业产生重要影响。为加快推进产业发展,结合实际,

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