xx县匀胶铬版产业规划方案(十四五).docx

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xx县匀胶铬版产业规划方案20xx年20xx年目录一、 规划思路2二、 指导原则2三、 区域发展分析3四、 规划目标5五、 主要任务规划6六、 实施保障8重点项目分析:xx项目11重点项目分析:xx项目16匀胶铬版是一种硬面光掩模材料,即光掩膜基版,它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版,再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。以转型升级、提质增效为主线,以技术创新和管理创新为支撑点,加快推进供给侧结构性改革,扩大新型产品生产和应用,积极开展产能合作,有效提高区域产业的质量和效益。 为推动区域产业转型升级、持续健康发展,制定本规划方案,请结合实际认真贯彻执行。一、 规划思路牢固树立创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念,在区域一体化协同发展的大背景下,紧紧抓住供给侧结构性改革重大机遇,主动适应产业发展趋势,加快优势产业发展转型升级,提升示范引

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