直线等离子体实验装置的真空室设计3页.doc

龙源期刊网 直线等离子体实验装置的真空室设计作者：陈晓莉 赵勋 刘志宏 李波来源：科学导报学术2018年第04期摘 要： 材料溅射实验平台是一种可以产生和维持一直线段稳态等离子体的装置，包含有真空室、磁场部件、以及其他等多个子部件系统。本文主要针对直线等离子体实验装置材料溅射平台的真空室部分进行计算设计分析，并通过有限元分析进行验证计算，以确保真空室的设计结构满足整个实验装置的技术要求。【中图分类号】 TL62 【文献标识码】 A【文章编号】 2236-1879（2018）04-0193-01引言直线等离子体装置是为研究各种材料在高参数等离子体轰击和强磁场条件下的溅射特性而搭建。包含有真空室、磁场部件、等离子体源、样品台、等离子体诊断系统、充气系统、冷却系统、控制系统、真空获得和测量系统等子系统。可以通过探针、样品台等可研究等离子体与材料溅射的基础问题。本文对实验装置的主要关键部件之一-真空室部分进行研究分析。以满足实验装置设