xx市匀胶铬版行业发展规划（审阅稿）.docx

xx市匀胶铬版行业发展规划20xx年xx月目录一、 指导路线3二、 指导原则3三、 任务重心4四、 区域发展分析6五、 规划目标8六、 实施保障8重点项目分析：xx项目11重点项目分析：xx项目18匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料（相当于照相用的感光胶卷）。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射（SP）沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂（又称光刻胶）或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，加快转变产业发展方式和产业结构调整，培育新型产业和优势产业，提质增效，由资本驱动型产业向创新驱动型产业转变。参与国家“一带一路”战略，走国际化发展道路。 为促进产业转型升级、由大变强、可持续发展，特制定改规划方案，请结合实际认真贯彻实施。一、 指导路线坚持贯彻落实科学发展观，进一步增强机遇意