自动检测实验报告05扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验6页.doc

中 南 大 学 仪器与自动检测 实 验 报 告冶金科学与工程 院 系 冶金 专 业 10级试验 班 级 姓 名 陈晓晨 学 号 0505100102 同组者 席昭 等 实验日期 2013 年 4 月 08 日 指导教师 实验名称：扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。二、实验仪器压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、15V。三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。平时敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当传感器受压后芯片电阻发生变化，电桥将失去平衡，给电桥加一个恒定电压源，电桥将输出与压力对应的电压信号，这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。四