薄膜材料考试题目11页.docx

本资料仅限于中科大材料系研究生同学使用，禁止一切摘抄、翻录、复印等行为。 孙兆威 2016年6月9日1. Z在抽真空的过程中，在不同真空度下腔体内的主要气体成分。压强（torr）主要气载AtmWet Air10-3Water Vapor（75%-85%）10-6H2O，CO10-9H2O，CO，H210-10CO，H210-11H22. 管道的设计与连接对抽真空效率的影响，检漏方法抽气效率：为保持系统真空度而需要的抽速，取决于真空元件的总流导（一般指导管、阀门、挡板真空系统中的常见元件），使得真空泵的实际抽速S永远小于理论抽速Sp：同时，极限真空度会受到被抽容器（真空器）的体积及漏气、放气的影响，公式为因此，要保证抽真空效率，就要减少真空元件总流导和系统的漏气放气。总流导C：，因此，在允许范围内增大各个元件流导即可增加系统总流导。对阀门，C=11.7A，对导管，C=12.2D3/L，因此，选用口径较大的阀门，尽量减少导管的长度，