匀胶铬版产业行动方案（参考意见稿）.docx

泓域咨询/匀胶铬版产业行动方案匀胶铬版产业行动方案20xx年20xx年目录一、 坚持原则3二、 规划思路4三、 重点任务4四、 区域产业条件5五、 规划目标10六、 保障措施10重点项目分析：xx项目13重点项目分析：xx项目17重点项目分析：xx项目25匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料（相当于照相用的感光胶卷）。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射（SP）沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂（又称光刻胶）或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。当前我国正处于全面建设小康社会的关键发展阶段，国内国际环境总体上都有利于我国加快发展。相关产业作与国民经济关联度比较高，随着推进工业化和城镇化进程，都将拉动相关产业的快速发展。为促进产业转型升级、由大变强、可持续发展，特制定改规划方案，请结合实际认真贯彻实施。一、 坚持原则1