匀胶铬版产业实施方案（意见稿）.docx

泓域咨询/匀胶铬版产业实施方案匀胶铬版产业实施方案20xx年20xx年目录一、 原则3二、 规划思路3三、 产业发展分析4四、 区域环境分析4五、 保障措施10重点项目分析：xxx集团有限公司xx项目12重点项目分析：xx项目17为加快区域产业结构调整和优化升级，依据国家和xx省产业发展规划，结合区域产业xx年发展情况，制定该规划，请结合实际情况认真贯彻执行。匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料（相当于照相用的感光胶卷）。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射（SP）沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂（又称光刻胶）或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。以转型升级、提质增效为主线，以技术创新和管理创新为支撑点，加快推进供给侧结构性改革，扩大新型产品生产和应用，积极开展产能合作，有效提高区域产业的质量和效益。 一、 原则1、协同发展，