匀胶铬版行业规划方案（审阅稿）.docx

匀胶铬版行业规划方案20xx年目录一、 指导原则3二、 规划路线4三、 背景分析4四、 发展目标4五、 任务重心5六、 措施保障6重点项目分析：xx项目8重点项目分析：xx项目14重点项目分析：xx（集团）有限公司xx项目19重点项目分析：xx项目23匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，即光掩膜基版，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料（相当于照相用的感光胶卷）。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射（SP）沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂（又称光刻胶）或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。全行业实施“由大变强、靠新出强”的发展战略，在产业结构调整、方式转变等方面取得了长足进步，为国民经济和城乡建设的快速发展提供了重要的保障。为了加快区域产业结构调整和优化升级，推进未来几年产业健康快速发展，按照“领先发展、科学发展、又好又快发展”和“产业倍增”的战略部署，结合区域产业发展情