微执行器导论 读书笔记摘要：微执行器可用来产生力和机械运动，是微机电系统中的重要组成部分。根据敏感源和执行方式的不同，微执行器主要分为静电执行器、热执行器、压电执行器、磁执行器等四大类。本文从原理、制备及应用实例等方面分别对这几类执行器进行了详细的介绍，并简单总结了不同执行器的独特性能和优缺点。1、简介MEMS技术的迅速发展带来了传感器和执行器的革命性变化。传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，并按照一定规律将其转换为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。执行器可接收控制信息并对受控对象施加控制作用，主要用来产生机械运动、力和扭矩。传感器和执行器统称为换能器，利用换能器可以实现信号和能量的转换。目前受到广泛关注的能量领域有电能、机械能、化学能、辐射能、磁能和热能。一个系统的能量可以有一个或多个不同的能量域组成，在不同环境下能量可以在各个能域之间进行转换。由于MEMS的微小化和小尺寸效应，微执行器并非
