量子阱光谱探测器的设计与仿真摘 要量子阱光谱探测器主要可以对红外波段光谱进行探测，也可以称之为量子阱红外探测器（QWIP）相对于传统的HgCdTe的红外探测器，具有成本低、均匀性高、灵敏度高、功耗低、抗辐照的优势。近年来，在军事方面、民用方面和工业等方面有着很广泛的应用，出现了许多夜视，目标分析，热效率分析、远程的温度分析等技术方面的革新。随着科技材料学的应用，量子阱探测器原来越受到人们的关注，成为人们研究应用的焦点。对于性能优良的量子阱探测器的研究，日益增加，包括对量子阱制作工艺的研究，电学参数的测试，电学参数的设计等等方面。本文首先以GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的工作方法以及原理，简要的介绍了量子阱红外探测器材料的发展历史和基本工作原理，分析了量子阱红外探测器的性能参数，结构特点，在此之上提出了仿真与设计的方案，运用相关TCAD的软件进行仿真。主要使用Silvaco进行仿真与模拟，使用athena进行工艺的仿真，使用ATLAS进行电性能测试的模拟，利用已知的量子阱参数，对其进行工艺的仿真，并对仿真出来的器件进行电学参数分析，最后结合相关的理论知识对分析
