半导体制造工艺教案(共17页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上课题序号1授课班级075电子1、2授课课时4授课形式讲授授课章节名称主题1、初识半导体制造工艺使用教具多媒体教学目的1 了解基本半导体元器件结构2 了解半导体器件工艺的发展历史3 了解集成电路制造阶段4 了解半导体制造企业5 了解基本的半导体材料6 熟悉半导体制造中使用的化学品7 熟悉芯片制造的生产环境教学重点集成电路制造阶段、半导体制造中使用的化学品、芯片制造的生产环境教学难点基本半导体元器件结构更新、补充、删节内容无课外作业1-11-19教学后记授课主要内容或板书设计1.1引言1.2基本半导体元器件结构1.3半导体器件工艺的发展历史1.4 集成电路制造阶段1.5半导体制造企业1.6基本的半导体材料1.7半导体制造中使用的化学品1.8芯片制造的生产环境课 堂 教 学 安 排教学过程主 要 教 学 内 容 及 步 骤