精选优质文档-倾情为你奉上进口设备参数公示1.三维表面形貌仪序号名称技术要求数量1三维表面形貌仪1，主要组成部分：需包含三维表面形貌仪主机，防震台，光学测量探头，控制器，光学传感器，计算机，三维数据采集软件，三维数据分析处理软件，样品夹具，标准样品等。2，该设备需要至少具有以下基本功能：1）采用白光共聚焦技术，可测量大尺寸平面，曲面，球面，异形面等高坡度样品的一维，二维，三维表面微观形貌。2）测量大尺寸样品表面，无需进行图像拼接。3）测量样品上任意测量点的三维坐标。4）测量透明，半透明，低反射率（黑色样品），抛光样品表面形貌。5）测量一维、二维表面粗糙度、平整度、波纹度、台阶高度、孔洞深度、长度等，宽度面积与体等参数。6）测量透明薄膜任意测量点的厚度。3，主要技术参数： 3.1 测试工作台技术参数：1）XY方向单次扫描范围：不小于 150*150mm，一次扫描完成，无需进行图像拼接。2）XY方向最小扫描步长：不大于0.1m3) 扫描速度：不下雨20mm/s4) 载重：不小于10Kg5)
