精选优质文档-倾情为你奉上1-1试述精密和超精密加工技术对发展国防和尖端技术的重要意义。精密和超精密加工是国际竞争取得成功的关键技术。许多现代技术产品需要高精度制造。发展尖端技术，发展国防工业，发展微电子工业等都需要精密和超精密加工制造出来的仪器设备。1-2从机械制造技术发展看，过去和现在达到怎样的精度可被称为精密和超精密加工精密加工： 加工精度0.11um表面粗糙度Ra在0.020.1um超精密加工：加工精度高于0.1um表面粗糙度Ra小于0.01um1-3精密和超精密加工现在包括那些领域。1）超精密切削（各种镜面）2）精密和超精密磨削研磨（集成电路基片和高精度磁盘）3）精密特种加工（电子束、离子束加工使美国超大规模集成电路线宽达到0.1um）1-4试展望精密和超精密加工技术的发展。对精密和超精密加工技术给予足够的重视，投入较多的人力物力进行研究和发展，在生产中稳定纳米加工，扩大应用亚微米加工技术，并开始纳米级加工的试验研究，则在1015年内有希望达到美国等先进国家的水平。可先在某些单项技术上取得突破，逐步使我国的精密和超精
