精选优质文档-倾情为你奉上1 绪论1.1课题背景及意义本课题以国家自然科学基金（青年基金）项目“基于MEMS技术的反铁电厚膜微悬臂梁场致效应研究”为背景1-2。研究计划要点：（1）研究制定PLZT反铁电厚膜异质集成及工艺的优化方案，完成PLZT基反铁电厚膜的介电性能测试分析，研究其相变行为特性与规律。（2）硅基反铁电微悬臂梁结构的有限元仿真分析，设计制造反铁电厚膜微悬臂梁驱动构件。（3）完成反铁电厚膜的微驱动构件的响应执行能力的测试与评估。意义：当今，智能仪器3已经成为了仪器发展的必然方向，仪器与计算机的高速稳定通讯及可编程控制是实现智能仪器的基本手段。本课题要完成的任务就是使用SCPI指令，通过VEE软件实现电流、电压、电容这些物理量的自动采集。通过查阅相关资料掌握相关仪器的SCPI指令的编写方法，了解VEE软件的开发环境，以及它在控制仪器设备、测试测量软件的开发及应用方面的优势。本课题的意义在于通过对仪器仪表的编程控制，实现数据的智能采集。1.2主要研究内容本课题主要进行的电学性能软件测试系统设计与开发，完成以下内容：（1）了解PLZT反
