三氯氢硅生产工艺三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法，主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢，氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐，然后送三氯氢硅合成炉。硅粉经过干燥后加入到三氯氢硅合成炉，与氯化氢在300左右的高温下反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的粗三氯氢硅气体经过旋风分离和除尘过滤后，进入列管冷凝器进行水冷和深冷，不凝气通过液封送入尾气洗涤塔，处理后达标排放，冷凝液蒸馏塔分离提纯，通常采用二塔连续提纯，一塔塔顶排低沸物，二塔塔底排高沸物四氯化硅，同时塔顶出三氯氢硅产品。% ?0 m& e6 U7 ! Z, B Z; q+ v 第一节2 B3 e: 7 r& N氯化氢合成工艺9 a9 f: i% i5 I1 | U9 E1.1氯化氢的性质% O$ Q( r: s4 . D6 U# Z4 E, c a氯化氢是无色有刺激性气体，熔点为-114.2，沸点为85，比热容为812.24Jkg，临界温度为51.28，临界压力为8266kPa。干燥的氯化氢气
