CP-晶圆检验标准(共9页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上文件名称：CP 晶圆检验标准文件编号：LY-QS-8.2.4-021制定单位：品经部修订履历生效日期版次修订人修订内容2016-8-20 2016-10-202016-12-22A0 A1黄良汉 王涛毕明明首版发行 1. 追加第4条标准内容：针对XW的产品边缘晶圆外4圈区域（不完整DIE不算一圈）的PAD变色，不做管控，做允收判定 2. 变更公司LOGO 增加HD护层不良、线路不良管控要求 LY-R-4.2.3-009 A21.目的为CP 外观检验提供依据。2.适用范围 本公司内晶圆的检验。3.职责品经部：负责检验标准之制定及修改，并依本标准对产品进行抽检。其他部门：依本标准对晶圆产品进行品质判定。4.标准内容检验项目 检 验 标 准参考图形污染不可移动的异物不得存在PAD上。晶粒上不允许有水珠和油污及光阻残。