精选优质文档-倾情为你奉上无机功能材料一、化学气相1.1.5 对原料、产物和反应类型的要求 反应原料是气态或易于挥发成蒸气的液态或 固态物质反应易于生成所需要的沉积物, 副产品保留在气相中排出或易于分离整个操作较易于控制1.1.2 分类化学气相沉积 Chemical Vapor Deposition，CVD 物理气相沉积 Physical Vapor Deposition，PVD 1.3 化学气相沉积法的技术装置气源控制部件 沉积反应室 加热系统 气体压强控制 =特点：沉积温度低，应用范围拓宽例 通过化学转移反应的沉积化学反应输运沉积1在气相沉积输运过程中，沉积位置不同所形成的晶体颗粒大小不同，其反应如下：2HgS(s) 2Hg(g)+S2(g)2 原料物质本身不容易发生分解时，而需添加另一物质(称为输运剂)来促进输运中间气态产物的生成。例如2ZnS(s)+2I2(g) 2ZnI2(g)+S2(g) 这类输运反应中通常是，T2T1，即生成气态化合物的反应温度T2往往比重新反
