SOI技术的抗辐照能力报告(共12页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上SOI技术的抗辐照能力报告目录SOI技术的定义：SOI技术是指：在硅衬底上嵌入绝缘体埋层，再在埋层上生长单晶硅薄膜的材料制备技术。SOI是英文Silicon On Insulator的缩写，指的是绝缘层上的硅。SOI技术是指在绝缘层上形成一层具有一定厚度的单晶半导体硅薄膜的材料制备技术。SOI材料可实现完全的介质隔离，与由PN结隔离的体硅相比，具有无闩锁、高速率、低功耗、集成度高、耐高温等特点，在便携式电子产品、航天、卫星通讯等领域均受到普遍重视，被称为“21世纪的微电子技术”。SOI(Silicon-On-Insulator)字面意思是绝缘体上硅，可以理解为一种特殊结构的硅材料。而SOI技术却包含非常丰富的内容。SOI技术也包括材料、器件和集成电路制造技术。SOI技术的特点： SOI技术作为一种全介质隔离技术，有着许多体硅技术不可比拟的优越性。在SOI技术中，器件仅制造于