精选优质文档-倾情为你奉上能谱应用问与答1. 问：能谱仪的最佳工作距离是多少？答：能谱仪的最佳工作距离应该为交汇距离，该数值在每一台仪器的探头手册中可以查到。实际数值由于加工误差与安装偏差经常会与理论数值略有不同。实际数值可以通过改变WD（工作距离），找到最大CPS（计数率）的位置来确定。不同的SEM的具有不同交汇距离：Sirion系列 = 5 mm，Quanta系列 = 10 mm，S-4000系列 = 12 mm，JSM-6360系列 = 15 mm等等。2. 问：为什么有时CPS（计数率）很小？答：CPS（计数率）在仪器工作正常时，与电镜加速电压、束流（束斑尺寸）、工作距离以及电镜电子束对中状态有关，同时还与样品状态有关（非平整样品的高部位遮挡、观察表面的倾斜、观察区的物质构成等）。电压低、束流（束斑尺寸）小、工作距离偏离交汇距离都会造成CPS减小，而对于粗糙样品表面，在观察低凹处时，X-射线出射方向如果有高点遮挡，必然造成CPS值下降。3. 问：使用中CPS（计数率）变大是何原因？答：CPS数值的变化是信号强度的变化。能谱探头可以接收X-
