先进制造技术--第九次教案(共8页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上教案授课时间月 日 至 月 日课时数授课方式理论课 讨论课 习题课 实验课 上机课 技能课 其他授课单元第三章 先进制造工艺技术（第六节 微细加工技术）目的与要求1掌握MEMS的概念2. 掌握光刻加工、LIGA加工工艺的过程3.了解微型机械加工技术涉及的关键技术重点与难点重点：MEMS的概念；掌握光刻加工、LIGA加工工艺的过程难点：微型机械加工技术涉及的关键技术主要内容第六节 微细加工技术 MEMS的概念；微机械的特征；微细加工技术涉及的关键技术；微细加工工艺；微细加工技术的应用领域；微细加工技术的发展与趋势 教学方法手段（教具）本章部分内容要求学生自学、自讲（查阅资料，写出自学笔记，并上台讲述）；要求写出自学笔记，讲稿。其目的是培养学生自学及口头表达能力，并活跃课堂气氛，调动学习积极性。教师略讲，主要以讨论、提问的方式进行参考资料1.盛晓敏著