精选优质文档-倾情为你奉上Kelvin 四线连接电阻测试技术及应用赵英伟，庞克俭（中国电子科技集团公司电子第十三所，石家庄 ）摘要：介绍了开尔文（Kelvin）四线连接方式测试电阻的原理，针对复杂电阻网络提出电阻隔离测试技术。分析了采用全开尔文更精确测量极小电阻的方法，介绍了在特殊情况下使用分离开尔文连接测试电阻的方法和用途。关键词：开尔文，电阻隔离测试，分离开尔文连接中图分类号：TN304.07 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2005)11-0043-031 引 言在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关，为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产精度，需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。一般所用的测量仪器或设备都包含连接、激励、测量和显示单元，有时还有后期数据处理单元。采用不同的测量方法和不同的连接方式引入的测量误差不同，得到的测量精度也不同。通常开关矩阵中继电器触点闭合电阻为1欧左右，FET 开关打开时的电阻为十几欧，引线电阻为几百毫欧。如何根据需要减少测量误差是测试技术的关键之一。
