光学尺原理(共6页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上 光學尺原理傳統精密量測是用游標卡尺及分釐卡來進行測定,或是在平台上使用塊規、高度規等作一次元之尺寸量測 。隨後線性編碼器(光學尺)發展成為強而有力的量測工具,特別是光學尺以數位來表示,可與電腦的結合,使得量測時間縮短,於是慢慢擴展到二次元、三次元位置的量測,光學尺乃成為座標量測的發展基礎。而三次元座標量測機的精密量測機構則是具有正交的XYZ三軸光學尺,利用裝在 Z 軸前端的各種探頭接觸在工件的量測位置。 常見的光學尺可分為兩種佈置:穿透型反射型 光學尺又可分為兩種量測方法:線性平行格子型疊紋型 光學尺依輸出型式亦可分為: 絕對值輸出 增量值輸出其意義與旋轉圓編碼器之輸出相似。優點:1.不易受干擾:不像電磁式編碼器一般怕磁力線干擾。2.精確度高:經雷射干涉儀校正後,精確度不容易失去。3.維護容易:量測時主尺副尺不接觸,故不發生磨損。4.由于有保護裝置,不易故障,不會讓切屑或切削油侵入。光學尺輸出信號原

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