精选优质文档-倾情为你奉上线阵CCD在尺寸测量方面的应用 一、引言电荷耦合器件（CCD）是以电荷为信号载体的传感器，属于集成光电传感器，主要应用于光电图像的传感。自从CCD于1970年首先在美国研制成功，它就一系列与众不同、无可比拟的优势就显示出来：灵敏度高、几何尺寸精确、光谱响应宽、动态范围大、操作容易、维护方便等。一般说来，CCD输出信号有以下几个特点:(1)能够输出与光像位置相对应的时序信号。(2)能够输出各个脉冲彼此独立相间的模拟信号。(3)能够输出反映焦点面信息的信号。我们将光源、光学系统与这三个特点相结合，可以实现尺寸的测量。而尺寸的测量在一些场合时非常有必要的，特别是高精度尺寸测量。在工业生产和科学实验中，经常碰到微小尺寸的检测问题，如细丝、薄板、狭缝等，不仅费时费力，而且精度较低，不便于实时检测、显示和控制，其应用范围也受到一定的限制。近年来，利用线阵CCD进行无接触一维测量已经得到广泛应用。线阵CCD器件具有许多优点：（1）非接触式，避免对所测器件的损伤。（2
