精选优质文档-倾情为你奉上电子束加工技术及其应用电子束加工是在真空条件下,利用聚焦后能量密度极高(106109W/cm2)的电子束,以极高的速 度冲击到工件表面极小的面积上,在很短的时间(几分之一微秒)内,其能量的大部分转变为热能,使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温,从而引起材料的局部熔化和气化,被真空系统抽走的加工技术。其加工原理如图1所示。图1电子束加工原理1948年,德国物理学家K.H.Steigerwald发明了第一台电子束加工设备(主要用于焊接)。1949年,德国首次利用电子束在厚度为0.5mm的不锈钢板上加工出直径小于0.2mm的小孔。从而开辟了电子束在材料加工领域的新天地。1957年法国原子能委员会萨克莱核子研究中心研制成功世界上第一台用于生产的电子束焊接机,其优良的焊接质量引起了人们广泛重视。20世纪60年代初期,人们已经成功地将电子束打孔、铣切、焊接、镀膜和熔炼等工艺技术应用到各工业部门中,促进了尖端技术的发展。微电子学的发展对集成电路元件的集成度要求不断提高,因而对光刻工艺提出了更高的要求,扫描电子束曝光机研制成功
