精选优质文档-倾情为你奉上多晶硅还原炉电气系统的设计和应用 一 综述 多晶硅还原炉电气系统的主要设备是大功率调压器。调压器所带负载是多晶硅棒串联而成的纯电阻负载。调压器的作用实际上是对负载电阻进行电加热，并且保持硅棒表面温度恒定（一般1080）。硅棒串联而成的电阻是一个变化的电阻：第一，硅棒温度从常温上升到1000，8直径硅芯电阻从几百k下降到几十；第二，保持硅棒表面温度1080，硅棒直径从8增加到150，硅棒电阻从几十下降到几十m。可见硅棒电阻大范围变动引起调压器输出电压和电流的调节范围大是这种调压器的设计特点。按照实际工作的性质，调压器分为硅棒温度从常温加热到1000的预热调压器和硅棒直径从8增加到最终直径并且始终保持硅棒表面温度1080的还原调压器。预热调压器工作过程中硅棒温度从常温加热到1000，其主要困难是硅棒初始电阻R太大，加热功率正比于V2/R，电阻大必然要求供电电压高（甚至需十几kV），一般应尽可能降低电阻R。常用方法有提高炉壁冷却液的温度，加粗硅芯直径，对硅芯参杂，炉内注入高温等离子体或放置卤钨
