沟道长度相关参数(Leff等)(共8页).doc

上传人:晟*** 文档编号:8615743 上传时间:2021-11-24 格式:DOC 页数:8 大小:333KB
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精选优质文档-倾情为你奉上1、Leff即有效沟道长度,由于做COMS的时候,为了防止HCE(Hot Carrier effect),会打LDD,再加上其他很多因素,实际的NMOS和PMOS之间的通道,并不是和Poly Gate的长度一样。如下图。l&S$c)D&d_T半导体技术天地Semiconductor Technology WorldLeff量测方法是通过测电阻得来,总电阻Rdrain端的电阻外加电阻(比如contact的接触电阻等等)图中两条曲线表示,加两个不同的gate电压(4v,6v),在两个不同CD的Gate之下(20um,0.5um),测出来的R。交点表示刚好Vg相同,并且有效沟道长度为0的情况,由此算出L &Z7uJ%h0K半导体技术天地Semiconductor Technology World另外还有Weff,有效沟道宽度,道理一样。: (2007-2-5 00:19, 64.19K)v s;v h,H$oT半导体技术天地Semiconductor Technology World2、Kapp

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