精选优质文档-倾情为你奉上CVD化学反应工程中反应器的设计摘要这篇报道中记载了最新的用来产生化学薄层的CVD反应器。在CVD反应器中发生化学反应、提取化学物质的实验、方法，已经发展到能够非常有效率的设计CVD反应器这一层次了。通过管状壁沉积法，我们获得了沉积过程中的速度的限制以及速率常数。通过限制管状外壁的旋转速度，使气状沉积的速率的不同，从而产生不同分子大小的化学薄层。Microcavity-deposition方法提供了用来分析表面反应的工具。通过Microcavity-deposition方法和macrocavity-deposition方法结合可以像中间沉积一样提取出重要的反应物。在构造新的化学沉积方面，可以使用电脑的化学反应检测。电脑的流体力学模拟配合上化学反应是一个可以设计出CVD反应器的非常好的方法。关键词:化学气相沉积;动力学建模;反应堆设计1. 简介化学气相沉积（CVD）是一个通过气体产生固体的过程。CVD中的化学反应系统可以通过反应生产各种材料，包括有机和无机材料，金属和非金属化合物，氧化和非氧化材料，电导体、
