精选优质文档-倾情为你奉上 mems陀螺仪的原理o MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理, 因此它主要是一个不停转动的物体, 它的转轴指 向不随承载它的支架的旋转而变化.但是 MEMS 陀螺仪(gyroscope)的工作原理不是这样的,因为要用微机械技术在硅片衬底 上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事.MEMS 陀螺仪利用科里奥利力旋转 物体在有径向运动时所受到的切向力. 下面是导出科里奥利力的方法. 有力学知识的读者应 该不难理解.在空间设立动态坐标系(图一).用以下方程计算加速度可以得到三项,分别来自径向加 速,科里奥利加速度和向心加速度.如果物体在圆盘上没有径向运动,科里奥利力就不会产生.因此,在 MEMS 陀螺仪的设计 上,这个物体被驱动,不停地来回做径向运动或者震荡,与此对应的科里奥利力就是不停地 在横向来回变化,并有可能使物体在横向作微小震荡,相位正好与驱动力差 90 度.MEMS 陀螺仪通常有两个方向的可移动板.径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向 运动(有点象加速度计中的自测试模
