精选优质文档-倾情为你奉上薄膜材料与薄膜技术复习题1. 薄膜材料与体材料的联系与区别。1. 薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond2. 厚度小、比表面积大，能产生许多新效应。如： 极化效应、表面和界面效应、耦合效应等。3. 可以获得体态下不存在的非平衡和非化学计量 比结构。如：Diamond: 工业合成, 2000，5.5万大气压, CVD生长薄膜:常压，800度.Mgx Zn1-x O: 体相中Mg的平衡固溶度为0.04, PLD法生长的薄膜中，x可01.4. 容易实现多 层膜，多功能 薄膜。如：太 阳能电池、超 晶格： GaAlAs/GaAs5. 薄膜和基片的粘附性， 一般由范德瓦耳斯力、静电力、表面能（浸润）和表面互扩散决定。范德瓦耳2. 真空度的各种单位及换算关系如何？l 1pa=1N/m2 (1atm)1.013105Pa(帕)l 1Torr1 / 760atm1mmHgl 1Torr133Pa102 Pal 1bar = 0.
