精选优质文档-倾情为你奉上 CCD技术及其应用 姓名: 哈纳 学号: 摘 要电荷耦合器件CCD(Charge Coupled Devices)是20世纪70年代初发展起来的新型半导体集成光电器件,它是美国贝尔电话实验室的W.S.Byole和G.E.Smiht于1970年首先提出的。近30年来,依靠己经成熟的MOS集成电路工艺,CCD器件及其应用技术得以迅速发展。目前CCD应用技术已成为集光学、电子学、精密机械与计算机技术为一体的综合性技术,在现代光子学、光电检测技术和现代测试技术领域中成果累累1。CCD器件按其感光单元的排列方式分为线阵CCD和面阵CCD两类,但无论是线阵CCD还是面阵CCD,由于其固有的物理特性、工作机理等原因以及芯片结构、制作工艺等的限制,CCD像素精度不能做得很高。为了保证CCD像元具有足够的感光面积和防止相邻
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