精选优质文档-倾情为你奉上第4章 X射线能谱(EDS)分析方法分析电子显微技术最基本的成分分析方法是用X射线能量色散谱分析方法，又叫X射线能谱法（即EDS方法，也称为EDX或EDXS）。它是分析电子显微方法中最可靠、最快捷、最重要的方法。首先，从特征X射线的产生过程和探测器的原理开始，来介绍EDS分析技术和定量分析方法。然后介绍在晶体试样中观察到的相干韧致辐射和利用电子通道效应确定原子位置的ALCHEMI方法，以及有关的实验数据。4.1 特征X射线的产生特征X射线的产生是入射电子使原子内壳层电子激发而发生的现象。即内壳层电子被激发后跳到比费米能高的能级上，电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填人时，作为多余能量放出的就是特征X射线。高能级的电子落人空位时，要遵从选择规则(selection rule)，只允许满足轨道量子数（L）的变化值L1的特定跃迁。图16示出空位在内壳层ls轨道(K壳层)中形成时，由于L3向K跃迁，放出特征X射线的过程。图41示出空位在K壳层和L壳层中形成时产生的特征X射线。按照图41，可以用，等记号来表示特征X射
