X射线光电子能谱XPS(共14页).docx

精选优质文档-倾情为你奉上X射线光电子能谱 复旦大学材料系 吕平在对许多材料的研究和应用中，了解其表面性能是很重要的。而要获得材料的表面性能，就需要一些特殊的仪器，对各种材料从成分和结构上进行表面表征。其中，X射线光电子能谱（XPS）由于其对材料表面化学性能的高度识别能力，成为材料分析的一种重要技术手段。X射线光电子能谱是由Siegbahn等人在20 世纪50年代提出并实现用于物质表面元素定性定量分析的方法。Siegbahn由于对光电子能谱的谱仪技术和谱学理论的杰出贡献而获得了1981年诺贝尔奖。这是一种以光与物质相互作用的原理为基础的方法。1.光与物质的相互作用一、光电效应物质受光作用放出电子的现象称为光电效应，也称为光电离或光致发射。h如图1所示，这个过程表示为：h+AA*+e-图 1 A: 中性原子；h：光子能量；A*+：出于激发态的离子；e-：光电子。光电子的能量 Ek=h-EBEB是