CMOS的制造(工艺)流程(共25页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上CMOS反相器的制造工艺流程院系：交通科学与工程学院学号: 姓名 ： 姬勃2013年12月9日摘要：虽然集成电路制造工艺在快速发展,但始终都是以几种主要的制造工艺为基础。文章介绍了 CMOS反相器的主要工艺流程,并对集成电路的主要制造工艺作了简要分析。关 键 词： CMOS反相器 、工作原理、工艺流程1.1 CMOS反相器 介绍CMOS反相器由一个P沟道增强型MOS管和一个N沟道增强型MOS管串联组成。通常P沟道管作为负载管，N沟道管作为输入管。这种配置可以大幅降低功耗，因为在两种逻辑状态中，两个晶体管 中的一个总是截止的。处理速率也能得到很好的提高，因为与NMOS型和PMOS型反相器相比，CMOS反相器的电阻 相对较低1.1工作原理两个MOS管的开启电压VGS(th)P0，通常为了保证正常工作，要求VDD|VGS(th)P|+VGS(th)N。若输入vI为低电平(如0V)，则负载管导通，输