冷氢化工艺技术方案(成品版-修改)(共8页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上1. 冷氢化及热氢化工艺技术比较目前，国内外多晶硅生产企业已投入工业化运行的四氯化硅氢化系统主要有以下两种工艺：（1） 热氢化工艺（2） 冷氢化工艺上述两种氢化工艺技术特点比较见下表。表1-1 两种氢化工艺比较表热氢化冷氢化技术成熟性成熟比较成熟操作压力0.6 MPaG3.0MpaG操作温度1250550反应原理SiCL4+H2SiHCL3+HCLSi+3SiCL4+2H24SiHCL3综合电耗2.53 kWh/kg-TCS1-1.2 kWh/kg-TCS占地面积100%80% (减少氢化尾气回收)建设投资100%90% (减少氢化尾气回收)生产成本(产品多晶硅)100%90%生产维护较易较难操作技术要求一般较高优点汽相连续反应，不需催化剂；易操作和控制；维修量小；反应无硼磷杂质带入，后续的精镏更简单；蒸汽耗量低；工艺成熟，有可靠的技术来源。业主已有操作经验硅粉加入