操作SEM的实验步骤(共1页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上操作SEM的实验步骤一、SEM表面形貌的拍摄1、装样。2、抽真空，真空达到5*10-3 Pa。3点击，开始测试。4、调电压，18-20kv,进行点扫描时电压一定要达到20kv。5、调节对比度和亮度。6、调节放大倍数找点、快速扫描（300us）慢速扫描（30ns）暂停7、filesave asEDS date即可。注：高倍下调节清晰度。二、SEM点扫描1、Point & ID。2、试样描述元素+配置文件书写已知的元素。3、采集图像开始是调节对比度和亮度。4、采集图谱。5、报告结果。6、保存至计算机Date(D:) EDS date。采集图谱时应该注意：消除噪声。变换质量/原子（%）。打点：注意切换，以节省时间。测能谱仪时电压为20kv。调节像散：shift+（+/-/左/右）。图像转动：shift+F12。页面最大化：F5。三、卸真空，取样步骤：1、降低放大倍数。2、降低电压至500V。3、点击Bea