半导体制造工艺期末考试重点复习资料(共11页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上1、 三种重要的微波器件:转移型电子晶体管、碰撞电离雪崩渡越时间二极管、MESFET。2、 晶锭获得均匀的掺杂分布:较高拉晶速率和较低旋转速率、不断向熔融液中加高纯度多晶硅,维持熔融液初始掺杂浓度不变。3、 砷化镓单晶:p型半导体掺杂材料镉和锌,n型是硒、硅和锑硅:p型掺杂材料是硼,n型是磷。4、 切割决定晶片参数:晶面结晶方向、晶片厚度(晶片直径决定)、晶面倾斜度(从晶片一端到另一端厚度差异)、晶片弯曲度(晶片中心到晶片边缘的弯曲程度)。5、 晶体缺陷:点缺陷(替位杂质、填隙杂质、空位、Frenkel,研究杂质扩散和氧化工艺)、线缺陷或位错(刃型位错和螺位错,金属易在线缺陷处析出)、面缺陷(孪晶、晶粒间界和堆垛层错,晶格大面积不连续,出现在晶体生长时)、体缺陷(杂质和掺杂原子淀积形成,由于晶体固有杂质溶解度造成)。6、 最大面为主磨面,与晶向垂直,其次为次磨面,指示晶向和导电类型。7、 半导体氧化方法:热氧化法、电化学阳极氧化法、等离子化学汽相淀积法。8、 晶体区别于非晶体结构:晶体结构是周期性结构,在许

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