精选优质文档-倾情为你奉上机械测试方法与微机电系统1）.机械测试系统主要包括被测对象、传感器、信号调理电路、输出系统、输入系统、信号处理系统以及执行器。.例如结构振动模态测试系统，包括冲击锤、力传感器、加速度计、放大器、处理系统。需要测量受力大小、加速度等测量量。利用冲击锤、力传感器、加速度器等测量工具进行测试，并经过计算机处理得出结果。2）.微机电系统技术主要与微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科知识相关，它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。3）.主要特点：1）微型化：微机电系统器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的微机电系统。批量生产可大大降低生产成本。4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件
