SEM-操作使用手册(共6页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机说明冷启动步骤1、 启动UPS打开墙上空气开关,确认UPS后面电池开关打开,按前面面板上On键至两个绿灯亮。2、 启动循环水冷机。按On键,确认水泵1和制冷指示灯亮。检查出水口压力在23bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。若有报警,检查水位,按Res键。3、 启动空气压缩机。确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为56bar。4、 确认主机后两个电源开关状态为On。此时,主机前面板上红灯亮。5、 按下黄键。说明:前级真空泵进入工作状态,分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。6、 按下绿键。按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:7、 启动SmartSEM软件。用户名: system 密码: 8、 检查真空值,等待真空就绪。注意:当System Vacuum210-5mBar时,会自动打开CIV阀门(column isolation va

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