紫外光处理机-DMS-制程管制标准书(共7页).doc

精选优质文档-倾情为你奉上1. 范围1.1 适用区域：1A Array Etch区。1.2 适用制程：紫外光处理制程。1.3 适用人员：Etch区EUV机台进行作业之Operator & Engineer。1.4 适用机台FabMachine ID.Process1AA1EUV110紫外光处理2. 目的本文件主要目的在订出紫外光处理机（EUV）制程之制程管制项目与规格，用以确保制程的稳定性并规范管制项目异常时的处理方法与步骤，以做为蚀刻工程部人员在建立产品生产条件或管理项目时，有依循之依据，期能快速导入生产条件，使生产管理步入轨道，而能达质量管理之要求。3. 权责此规范适用于EUV机台之设备、制程工程师，保养修护人员，及值班工程师。4. 名词定义4.1 EUV：Excimer Ultraviolet5. 生产条件生产条件是生产机台相当重要的设定项目。为保持机台稳定运行以及产品质量的稳定，经承认后的