精选优质文档-倾情为你奉上进入洁净室的材料、设备和机器一、洁净室用材的选择1.必须仔细选择洁净室的各种用材，确保它们不会对室内造成污染。洁净室内经常使用的材料与设备举例如下：1) 生产中使用的材料：在微电子工业中使用的硅晶片；2) 产品包装材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、预制的盒子等；3) 工艺设备和机器；4) 对设备和机器进行维修、校准、修理的工具以及转动设备的润滑剂等；5) 人员服装，如洁净工作服、手套、指套、口罩、头罩等；6) 洁净室清洁用品，如抹布与拖把；7) 消耗性用品，如书写纸张、圆珠笔、标签、棉签。在大多数洁净室中粒子和纤维都是环境污染的主要来源。所以，应避免在生产工艺中使用容易破损或散发粒子的材料。其表面带有粒子和纤维的材料也应避免使用。在半导体工业中，产品表面的化学品和空气环境中的某些气体分子可能形成的化合 物，会沉积在半导体的表面上，它们可能影响产品质量，甚至损坏半导体芯片。在一些洁净室中，那些无法将静电不断地传导开的材料，可能会因为静电荷的积累和放电使那些对静电敏感产品会受到损坏。此外，静电还
