场发射扫描电镜技术标书(共5页).doc

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精选优质文档-倾情为你奉上附件:场发射扫描电镜技术标书一、设备用途扫描电镜是一种多功能的仪器,广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等,可对导电及不导电的固体材料进行表面形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察,可实现对超细晶材料尤其是纳米材料的表征。基于相关附件,也可以对材料在温度及应力作用下的动态变化进行原位观察。仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系统、应用软件及数据处理软件、X射线能谱分析仪(EDS)、背散射电子衍射分析仪(EBSD)、原位加热台。二、技术参数1运行环境1.1工作温度:可以在1525环境温度工作1.2 相对湿度:湿度小于60%RH时正常工作1.3工作电压:在220V(10%)、50Hz电压下,仪器可连续使用2电子光学系统2.1电子枪:Schottky场发射电子枪2.2加速电压:0.2kV30KV,步长10V连续可调2.3电子束流:束流连续可调,稳定性优于0.2%/h2.4放

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