精选优质文档-倾情为你奉上涂胶工艺研究实验目的1、 学会匀胶台的使用；2、 掌握涂胶工艺技术。实验仪器 匀胶台实验步骤1.涂光刻胶涂胶是光刻的首道工序，它是在玻璃表面上涂一层光刻胶，涂胶效果控制好坏直接影响光刻质量，涂胶的质量要求是：胶与粘附良好，不能有胶脱落现象；涂层厚度均匀一致，不能有厚有薄，否则会在显影，刻蚀时会出现图形缺陷；涂层表面状态不能有条纹，针孔，突起等缺陷。涂胶方法有浸涂，甩涂，辊涂等，其中辊涂的涂覆质量好于其它两种，它是通过胶辊将光刻胶均匀的涂在玻璃上。为保证胶膜的质量，涂胶工序应在洁净条件下进行，它的温度是223，湿度低于60%，并在不含紫外光成分的黄灯条件下进行操作。2.前烘前烘的目的是促使胶膜内溶剂充分挥发，使胶膜干燥以增加胶膜与表面的粘附性和胶膜的耐磨性。曝光时，掩摸板与光刻胶即使接触也不会损伤光刻胶膜和沾污掩摸板，同时，只有光刻胶干燥，在暴光时，才能充分进行光化学反应。 前烘方式有两种，一种是在恒温干燥箱中烘干；另一种是用红外炉烘干。影响前烘质量的主要因素是烘干温度和烘干时间，胶膜烘烤不足时，胶
