精选优质文档-倾情为你奉上1.1 干涉测量基本原理干涉测量是基于光波叠加原理，在干涉场中产生亮暗交替的干涉条纹，通过分析处理干涉条纹来获取被测量的有关信息。当两束光满足频率相同、振动方向相同以及初相位差恒定的条件时，两支光会发生干涉现象。在干涉场中任一点的合成光强为12：式中，为两束光到达某点的光程差；、分别为两束光的光强；为光波长。干涉条纹是光程差相同点的轨迹，以下两式分别为亮纹和暗纹方程式中，为干涉条纹的干涉级干涉仪中两支光路的光程差可表示为式中，、分别为干涉仪两支光路的介质折射率；、分别为干涉仪两支光路的几何路程。当把被测量引入干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差则发生变化，干涉条纹也随之变化。通过测量干涉条纹的变化量，可以获得与介质折射率和几何路程有关的各种物理量和几何量。1.2 多光束干涉中反射率之间的关系为测量被测表面的微观高度信息，在被测物上方置一石英玻璃片，以其下表面作为参考平面，如图2-1所示，石英玻璃片的下表面GS和被测物的上表面OS之间的空气会形成很薄的一层膜。现假设石英玻璃片的下表面为理想平
