精选优质文档-倾情为你奉上电容式微位移传感器自校准技术的基本原理学生：许世飞 学号：电容式微位移传感器是将被测量的位移量，转化为电容变化量的传感器。其中，极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。但电容量随极距的变化不是线性变化的，因此需要在获得输出信号后对其进行校准。本文所阐述的原理是获得传感器的校准曲线对传感器进行校正，校正的前提是已知传感器的精度。通过激光干涉仪，可以确定偏移量，由此确定传感器的精度和非线性误差。1、绝对校准原理：首先，设f(x)为传感器的输出信号，则 。其中S0为校准曲线的斜率，x为位移量，g（x）为误差。设 ,则在 处，其中是g（x）的反函数。且。其中位移偏移量可以通过激光光源确定，由此可计算 ： 由此可计算出，h（z）可以通过对积分求得。这就得到了传感器的非线性误差。2、两种校正系统： 图中，位移传感器、工作台、激光干涉仪和PZT组成了校正系统。图（a）是通过Z向平台的运动来改变传感器和工作面的距离，进而得到测量结果；图（b）是通
