1、热蒸发式真空镀膜仪技术参数1. 工作条件1.1 电力供应：380V（6%） ，50Hz，功率不高于 15KW，地线对地电阻 41.2 工作温度：15C-25 C1.3 工作湿度： 60% (20C)1.5 仪器运行的持久性：仪器可连续使用1.6 仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定1.7 仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准2. 设备用途：实现热蒸发式碳膜喷镀。特别用于低温单颗粒三维重构中的的低温样品载网支持膜制备，确保样品制备中载网支持膜的导电性和良好的支撑性能。3. 技术规格3.1 真空镀膜腔室尺寸不小于 350H350mm3.2 真空镀膜腔室配有观察窗。3.3
2、真空系统为无油系统。*3.4 极限真空：510 -5Pa*3.5 暴露大气 10 分钟内并充干燥氮气开始抽气， 30 分钟真空度610 -4Pa，两小时内真空度110 -4Pa。3.6 设两组蒸碳电极，并配备直径 3mm 碳棒卡套。蒸发电源为 2kW/8V 直流恒流电源3.7 蒸碳电极周围配备挡板，实现定向碳棒喷镀，降低真空腔体表面污染3.8 在样品与蒸发源间设有高度可调的电动挡板3.9 样品台可在电机驱动下绕自身轴线旋转，也可静止喷镀。3.10 留出供 inficon-SQC310C 膜厚仪进行膜厚测量的接口注：*表示必须满足且重要的指标4. 技术文件：4.1 投标人应提供仪器主体及主要附件
3、的详细的操作，安装，及调整说明书。4.2 投标人应提供电子版说明书。5.技术服务5.1 设备安装、调试和验收5.1.1 现场安装；现场调试；按照买方和卖方双方同意的标准对主机、附件，软件的性能和功能进行测试；在买方对主机、附件，软件的性能和功能进行测试合格的基础上，由买方授权人签字验收。5.1.2 服务：在中国设立两家或以上的固定维修站，并配备专业维修工程师，北京地区至少 1 名工程师，能提供及时有效的售后服务。5.2 保修期及维修：5.2.1 保修期为 3 年，自买方签字验收之后算起。安装验收合格后，厂家提供相应的免费保修，保修期厂家负担因质量问题造成的所有费用。5.2.2. 在保修期期间免费维修和在紧急情况接到电话 24 个工作小时内做出响应，在 3-5 天内到达用户现场，保证提供及时优质的售后服务。5.2.3.提供全套的备品备件清单。5.3 技术培训：5.3.1 现场基本操作培训：由卖方安装人员对买方使用人员进行安装现场培训，培训应使买方使用人员能够进行熟练操作和一般维护。5.3.2 在国内对用户进行现场培训。培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、数据处理、软件的使用和结果分析、仪器基本维护等。
