精选优质文档-倾情为你奉上1. active region 有源区 2. active component有源器件 3.anneal退火 4.atmospheric pressure CVD (APCVD)常压化学气相淀积 5.BEOL生产线后端工序 6.BiCMOS双极CMOS 7.bonding wire焊线，引线 8.BPSG硼磷硅玻璃 9.channel length沟道长度 10.chemical vapor deposition (CVD)化学气象积淀 11.chemical mechanical planarization (CMP)化学机械平坦化 12.damascene大马士革工艺 13.deposition积淀 14.diffusion扩散 15.dopant concentration掺杂浓度（剂量） 16
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