精选优质文档-倾情为你奉上光刻技术在微电子设备上的应用及展望 光刻技术的原理，就是用光学复制的手段，在半导体中形成图像，进而用来制作电路和为微电子设备服务。近年来，我国的光刻技术发展非常迅速，在集成电路的生产中应用非常广泛，已经具备了较为独立和成熟的光刻能力。在未来，光刻技术在微电子设备上的应用还将会继续发展。本文对光刻技术在微电子设备上的应用和发展进行了一些分析和展望。 【关键词】光刻技术 微电子设备 应用分析 展望 光刻技术在微电子设备中应用的关键，是光的应用能力及相关操作问题。我国光刻技术经历了较长时间的发展，从最开始的技术落后到现今的逐渐成熟，我国光刻技术在微电子设备上的应用取得了可喜的成果。今后随着微电子设备的不断发展，光刻技术仍然需要进一步改进和提升。因此，对于光刻技术在微电子设备上的应用研究是非常有意义的。 1 光刻技术在微电子设备上的应用 在光刻技术和微电子设备的发展过程中，二者是共生、依存的关系，二者的发展进步都离不开对方的演变。在上世纪第一台光刻机问世后，光刻技术一直都在以惊人的速度发展，我国的光刻技术发展成
