微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx

上传人:晟*** 文档编号:9216926 上传时间:2021-12-06 格式:DOCX 页数:15 大小:249.44KB
下载 相关 举报
微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx_第1页
第1页 / 共15页
微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx_第2页
第2页 / 共15页
微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx_第3页
第3页 / 共15页
微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx_第4页
第4页 / 共15页
微机电系统的基本工作原理分析(共15页).docx_第5页
第5页 / 共15页
点击查看更多>>
资源描述

精选优质文档-倾情为你奉上第一章 电容效应1.1工作原理分析电容传感器的工作原理是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为 当被测参数变化使得S、d或发生变化时,电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就可转换为电量输出。电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介质式3种类型。(一) 极距变化型极距变化型电容传感器变间隙式电容式传感器 当传感器的r和S为常数,初始极距为d0时,初始电容量C0为若电容器极板间距离由初始值d0缩小了d,电容量增大了C,则有 在式中,若d/d01时,则展成级数:此时C与d近似呈线性关系,所以变极距型电容式传感器只有在d/d0很小时,才有近似的线性关系。另外,在d0较小时,对于同样的d变化所引起的C可以增大,从而使传感器灵敏度提高。(二) 面积变化型面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等保持不变,被测量的变化使其有效

展开阅读全文
相关资源
相关搜索

当前位置:首页 > 实用文档资料库 > 公文范文

Copyright © 2018-2021 Wenke99.com All rights reserved

工信部备案号浙ICP备20026746号-2  

公安局备案号:浙公网安备33038302330469号

本站为C2C交文档易平台,即用户上传的文档直接卖给下载用户,本站只是网络服务中间平台,所有原创文档下载所得归上传人所有,若您发现上传作品侵犯了您的权利,请立刻联系网站客服并提供证据,平台将在3个工作日内予以改正。